不同靶材获得的膜层性能不同, 靶材的选择与组合应满足玻璃镀膜性能需要。 对于不同
的靶材, 其溅射效率不同, 表4-3给出了不同能量下用氢离子溅射靶材料时各种靶材的溅射
产额, 溅射产额越高, 溅射效率越好, 在选择靶材的组合上应考虑到溅射产额的影响, 特别
是镀制复合膜层时尤为重要。 制备阳光控制镀膜玻璃、 玻璃镜、 导电膜玻璃的靶材, 采用非
磁性导电材料如铬、 钛、 锡、 锌、 铜、 铝、 铋、 不锈钢、 铟锡合金等; 制备低辐射镀膜玻璃
则采用金、 银、 铜或铅等金属靶材。