间歇式磁控溅射镀膜机主要有下列部分组成。
① 溅射室: 是一个圆柱形或矩形的卧式釜, 图4-8
所示为间歇式磁控溅射镀膜机, 其一端有釜门。 釜内有
装片框吊挂轨道、 移动式阴极、 移动式阴极吊挂轨道以
及驱动装置、 预溅射挡板、 装片框下部导槽、 阴极下部
导槽。 釜的首端顶部有开门机构; 釜的末端有真空系统
的管道及通工作气体、 反应气体的管道。
② 真空系统: 有油扩散泵系统和机械增压泵系统
两种, 由真空泵、 自控阀门、 仪表及管道组成。
③ 高功率阴极电源柜: 向阴极供应大电流、 高电
压的直流电源柜。
④ 控制台: 集中了为溅射室服务的自控仪表、 指
示记录仪表、 控制按钮等。
⑤ 油泵、 供油罐及压缩空气系统。
⑥ 气体分配器: 溅射所需的工作气体和反应气体用钢瓶贮存, 放于镀膜机附近, 用管
道接至气体分配器, 通过分配器上的阀门按照溅射要求向溅射室供给气体。
⑦ 装片框: 框上部有吊挂架及两组轮子, 轮子支撑在吊挂轨道上, 人工推框, 玻璃沿
轨道移动。
⑧ 装片运输车: 其主体是一辆电动平车, 可使装片框能推入或拉出溅射室。